随着齿轮硬齿面技术的发展，其承载能力大、体积小、重量轻、传动精度高等特点使其应用领域日趋广泛。但为获得硬齿面采用的渗碳淬硬使齿轮产生变形，导致齿轮传动噪声增大，寿命缩短。为减少噪声，需对齿面进行精加工。目前除采用传统的磨齿方法外，又发展出一种硬齿面刮削方法，通过修正齿顶和齿根，或把主被动轮的齿形都调小，来减少齿轮啮入与啮出冲击，从而减少伺服精密行星减速机齿轮传动噪音。
再补充的一点就是，伺服精密行星减速机在安装时,应尽量避免机身与基础支撑及连接件之间发生共振，产生噪声。伺服精密行星减速机内部常常会发生一只或几只齿轮在某些速度范围内产生共振，除设计原因外，与安装时未经空试揪出共振位置。并采取相应减振或阻断措施有直接关系。某些要求低传动噪声和振动的减速机，应选用高韧性，高阻尼的基础材料来减少噪声和振动的发生。